真空用軸受
がいよう
真空軸受は、特殊環境向けの当社SPACEAシリーズにおける標準製品ラインです。
SPACEAシリーズはさらに多くの専用軸受を提供しており、腐食、クリーンルームおよび高温などのアプリケーションシーンに適用できます。
製品リスト
FG9グリースを封入したステンレス鋼製ベアリングは、大気圧下または真空環境のクリーンルームでの使用に適しています。
特長
- グリース飛散・パーティクル発生が少ない
- 耐食性に優れる
用途
- 半導体製造装置
- 有機EL（OEL）製造装置
ハイブリッドベアリングはセラミックボールとフッ素樹脂製自己潤滑保持器を組み合わせることで、大気圧下、真空中のいずれにおいても優れた耐食性を発揮します。
特長
- グリースフリー
固体潤滑剤による潤滑を行うため、グリースが不要です。 - 自己潤滑保持器
フッ素樹脂製保持器が固体潤滑剤による持続的な潤滑を実現します。
用途
- 真空中の搬送装置
- 検査機器
DFO軸受は軌道輪、玉、保持器に特殊な潤滑皮膜を施すことで、優れた清浄性と長寿命を実現します。
E-DFO仕様には低蒸気圧の炭化水素系潤滑皮膜を、V-DFO仕様にはフッ素オイル系潤滑皮膜を採用しています。
これらの新コンセプトの軸受は、常圧下および真空下のクリーンルーム環境に適しています。
特長
- 低発塵性
特殊なクリーンルーム用グリースにより、発生するパーティクルを低く抑えます。 - 低アウトガス性
用途
- 半導体製造装置
- 有機エレクトロルミネッセンス（OEL）製造装置
スペーサージョイントを採用したYS軸受は、ボール間に合金系自己潤滑材料（焼結合金）を使用しており、高温真空環境に耐えることができます。
特徴
- 高温真空に適しています
YS軸受は最高350℃の真空環境に耐えることができます。 - 長寿命
固体潤滑剤スペーサーが軸受を潤滑し、寿命を延長します。
用途
- イオン注入装置
- スパッタリング装置
SJ軸受は「ピーポッド」構造を採用しており、単一の保持器ポケット内の2つの玉の間に固体潤滑剤スペーサージョイントが搭載されているため、大気圧下または真空下の高温環境での使用に適しています。
特徴
- 高温環境に適応
SJ軸受は大気圧下、真空環境のいずれにおいても最高400℃の温度に耐えることができます。 - 長寿命
スペーサーから供給される固体潤滑剤と独自の保持器構造により、軸受の寿命が延長されます。
用途
- 炉内の搬送・運搬装置
- 高温フィルム製造装置
内外輪およびボールにセラミックを採用した全セラミック軸受は、自己潤滑性のフッ素樹脂製保持器を備えているため、大気圧下および真空中の非磁性環境において優れた耐食性を発揮します。
特長
- 非磁性構造
全セラミック構造により、最高クラスの耐食性を実現しています。 - 長寿命
耐摩耗特性により、長い稼働寿命を実現します。
用途
- 半導体製造装置
- 有機エレクトロルミネッセンス（OEL）製造装置
よくある質問
荷重は方向によって定義されます。軸に垂直な荷重をラジアル荷重、軸に平行な荷重をアキシャル荷重と呼びます。
複列アンギュラ玉軸受は両方向のアキシャル荷重を負荷できるのに対し、単列アンギュラ玉軸受は一方向のアキシャル荷重のみ受けられます。
シール部材とシュラウドは軸受部材に追加の保護を提供し、潤滑の改善と維持を支援する。シール性能では、シール軸受が最も優れており、次にシールド軸受、最後にオープン軸受がランクインしている。NMT（新国際番号）はシールベアリングに対して補足符号D、DU、DWとV（DD、DDU、DDW、VV）を使用し、シールドベアリングに対して補足符号Z（ZZ）を使用する。オープンベアリングには追加のコードはリストされていません。
