クリーンルーム用軸受
がいよう
クリーンルーム用軸受は、粒子放出ゼロを設計目標としています。
NMT独自の技術により、当社の全製品ラインは常圧、真空および高温環境下でも優れた性能を発揮します。
製品リスト
LG2およびLGUグリースを封入したステンレス鋼製軸受は、常温・常圧のクリーンルーム環境に適しています。
特長
- グリースの飛散および粒子放出が少ない
- 長寿命
用途
- クリーンルーム
- フィルム製造装置
DL2グリースを封入したステンレス鋼製軸受は、大気圧下または真空中のクリーンルーム環境に適しています。
特徴
- グリースの飛散およびパーティクルの放出が少ない
- 優れた耐熱性
専用のDL2グリースにより高い運転温度に対応できます。
用途
- 半導体製造装置
- フィルム製造装置
DFO軸受は、軌道輪、ボール、保持器に特殊な潤滑被膜を施すことで、優れた清浄性と長寿命を実現しています。
E-DFO規格は低蒸気圧炭化水素系潤滑被膜を、V-DFOはフッ素オイル系潤滑被膜を使用しています。
これらの新しいコンセプトの軸受は、大気圧下および真空中のクリーンルーム環境に適しています。
特長
- 低発塵性
専用のクリーンルーム用グリースにより、発生するパーティクルを低く抑えます。 - 低アウトガス性
用途
- 半導体製造装置
- 有機エレクトロルミネッセンス（OEL）製造装置
よくある質問
荷重は方向によって定義されます。軸に垂直な荷重をラジアル荷重、軸に平行な荷重をアキシャル荷重と呼びます。
複列アンギュラ玉軸受は両方向のアキシャル荷重を負荷できるのに対し、単列アンギュラ玉軸受は一方向のアキシャル荷重のみ受けられます。
シール部材とシュラウドは軸受部材に追加の保護を提供し、潤滑の改善と維持を支援する。シール性能では、シール軸受が最も優れており、次にシールド軸受、最後にオープン軸受がランクインしている。NMT（新国際番号）はシールベアリングに対して補足符号D、DU、DWとV（DD、DDU、DDW、VV）を使用し、シールドベアリングに対して補足符号Z（ZZ）を使用する。オープンベアリングには追加のコードはリストされていません。
