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真空轴承

概述

DGBB

真空轴承是我们面向特殊环境的SPACEA系列中的标准产品线。

SPACEA系列还提供更多专用轴承,可适用于腐蚀、洁净室及高温等应用场景。


产品列表

Single-Row Deep Groove Ball Bearings

FG9润滑脂填充的不锈钢轴承适合在大气压力或真空中的洁净室环境。

特点

  • 低润滑脂飞溅和粒子排放
  • 耐腐蚀

应用

  • 半导体制造设备
  • 有机电致发光(OEL)制造设备
Single-Row Deep Groove Ball Bearings

混合轴承结合了陶瓷球和氟树脂自润滑保持架,以在大气压力和真空环境中实现卓越的抗腐蚀性能。

特点

  • 无润滑脂
    由固体润滑剂提供的润滑消除了对润滑脂的需求。
  • 自润滑保持架
    氟树脂保持架从固体润滑剂提供连续的润滑。

应用

  • 真空中的运输/输送设备
  • 检测设备
Single-Row Deep Groove Ball Bearings

DFO轴承采用特殊润滑涂层涂覆在环、球和保持架上,以提供更优越的清洁度和使用寿命。

E-DFO规格使用低蒸汽压的烃类润滑涂层,而V-DFO使用氟油润滑涂层。

这些新型概念轴承适合在大气压力和真空中的洁净室环境。

特点

  • 低粒子排放
    专用洁净室油脂保持生成的粒子数量低。
  • 低挥发性

应用

  • 半导体制造设备
  • 有机电致发光(OEL)制造设备
Single-Row Deep Groove Ball Bearings

YS轴承带有间隔接头,使用球与球之间的合金基自润滑材料(烧结合金)来承受高温真空环境。

特点

  • 适合高温真空
    YS轴承能够承受高达350°C的温度的真空环境。
  • 长寿命
    固体润滑剂间隔接头润滑轴承并延长寿命。

应用

  • 离子注入机
  • 溅射设备
Single-Row Deep Groove Ball Bearings

SJ轴承具有“豌豆荚”结构,在一个保持架口袋中的两个球之间装有固体润滑剂间隔接头,使它们适合在大气压力或真空中的高温环境。

特点

  • 适合高温
    SJ轴承在大气压力和真空环境中可承受高达400°C的温度。
  • 寿命长
    间隔接头提供的固体润滑剂和独特的保持架结构延长了轴承寿命。

应用

  • 炉内运输/输送设备
  • 高温薄膜制造设备
Single-Row Deep Groove Ball Bearings

全陶瓷轴承具有陶瓷外/内环和球,以及自润滑的氟树脂保持架,以在大气压力和真空中的非磁性环境中实现对腐蚀的卓越抵抗力。

特点

  • 非磁性结构
    全陶瓷结构赋予这些轴承最高的抗腐蚀性。
  • 长寿命
    抗磨损特性有助于延长使用寿命。

应用

  • 半导体制造设备
  • 有机电致发光(OEL)制造设备

常见问题

answers 载荷是由其方向来定义的。垂直于轴的载荷称为径向载荷,平行于轴的载荷称为轴向(推力)载荷。

 

answers 虽然双列角接触球轴承(DGBBs)能够处理两个方向的轴向载荷,但单列角接触球轴承只能承受一个方向的轴向载荷。

 

answers 密封件和护罩为轴承部件提供了额外的保护,并有助于改善和保持润滑。在密封性能方面,密封轴承排名最佳,其次是护罩轴承,最后是开放式轴承。
NMT(新国际编号)对密封轴承使用补充代号D、DU、DW和V(DD、DDU、DDW、VV),对屏蔽轴承使用补充代号Z(ZZ)。对开放式轴承则未列出任何补充代号。

行业应用